Cathodoluminescence H-CLUE
Kết nối quang học không gian tự do cho hiệu năng cao nhất trên toàn dải phổ CL rộng nhất.
- Điều khiển hoàn toàn tự động
- RPM được cơ giới hóa với khả năng tinh chỉnh
- Không chuyển màu
- Cấu hình tùy chỉnh theo ý khách hàng: CL phân giải góc, CL phân giải thời gian, phân cực, đĩa lọc
- Chụp ảnh và phân tích phổ từ DUV tới NIR bằng tới 5 detector
Nhà sản xuất: HORIBA Scientific
Dải phổ |
UV - VIS - NIR |
Gương thu bằng kim cương |
Gương hình parabol |
Giao diện có thể thu gọn 200 mm |
Chức năng tinh chỉnh được cơ giới hóa trong điều kiện chân không |
Detector chụp ảnh CL |
Tiêu chuẩn: CL toàn sắc hoặc đơn sắc với PMT xung quanh Tùy chọn: PMT được làm mát, IGA đơn kênh, PMT đếm photon, PMT phân giải theo thời gian, Kính lọc RGB |
Loại máy quang phổ CL |
iHR 320, iHR 550 (chiều dài tiêu cự 320 -550 mm), tháp 3 cách tử, 2 cửa vào/ra |
Có thể nâng cấp |
Nâng cấp từ PL, MicOS |
Điều khiển chùm tia điện tử |
CL-LINK để xử lý thu dữ liệu (Analog, chế độ xung, SE), quét đường thẳng lập bản đồ, đo điểm, Đồng bộ hóa với việc phát hiện phổ, điều khiển bằng đầu quét ngoài của kính hiển vi điện tử |
Phần mềm |
LabSpec 6™ |
Bộ điều khiển từ xa |
Tùy chọn |
Phụ kiện Clue |
Phân cực, kính lọc ND, camera, EMCCD ... |
Phụ kiện SEM |
LN2, He cryo-stages, EBIC detector .... |