GD-PROLIER  2
  • Dễ lắp đặt (không cần chân không cao UHV)
  • Tốc độ ăn mòn lên tới micromet/ phút
  • Phân tích các mẫu bán dẫn hoặc phi bán dẫn và mạ
  • Phân tích định lượng chiều sâu
  • Có thể đo tất cả các nguyên tố trong cùng 1 lần (bao gồm C, H, O, N và Cl)
  • Độ phân giải lớp nằm trong dải nm
  • Kiểu RF xung độc đáo có thể được áp dụng với các mẫu giòn và mạ.
  • Tuân thủ ISO 14707 và tiêu chuẩn 16962

 

Vui lòng click vào đây để có thêm thông tin về sản phẩm

 

Nhà sản xuất: HORIBA Scientific

  • Dải bước sóng: 110nm ~ 800nm
  • Có tới 47 kênh nguyên tố
  • Độ phân giải quang học:18 tới 25 pm đối với tất cả các nguyên tố.
  • Độ nhạy của RF-GD nằm trong dải 1017nguyên tử/cm2
  • Đối với các nguyên tố chính, độ chính xác điển hình là 0.4% và thời gian phân tích khoảng 90 giây.
  • HORIBA Scientific (Jobin Yvon Technology) cung cấp hiệu chuẩn cho cả phân tích mẫu khối và hồ sơ lớp (CDP) cho các hợp kim của Fe, Al, Cu, Ti, Ni, Co, Zn, Sn và Pb sử dụng vật liệu tham chiếu đã được chứng nhận và cung cấp các đường chuẩn theo yêu cầu cụ thể.

Li bell

HORIBA Scientific đề xuất các phụ kiện để đo các lại mẫu khác nhau và tăng thêm các ứng dụng:

  • Phụ kiện “Li bell” được cấp bằng sáng chế dùng để đo các mẫu không nên tiếp xúc với không khí
  • Phụ kiện Centrelite được cấp bằng sáng chế dùng để định vị chính xác các điểm phân tích - giá đỡ mẫu nhỏ
  • Giá đỡ mẫu vạn năng cho các mẫu phẳng, dạng ống, dạng thanh
  • Các anode khác nhau (vật liệu và đường kính): các anode 2mm, 4mm, 6, 7 & 8mm.
  • Bộ nối RF được cấp bằng sáng chế cho các lớp không dẫn điện dày (sáng kiến bắt nguồn từ dự án của EU - www.bulletins-electroniques.com)
  • Máy in
  • Bộ kít để chuẩn bị cho phân tích các chất bột
  • Máy chuẩn bị
  • Máy đo biên dạng: giúp quyết định các điều kiện tối ưu để  có các vết lõm phẳng và rất hữu ích trong việc đo tỉ lệ phún xạ.
  • Sách tham khảo
    • Glow Discharge Spectroscopies 
      R. Kenneth Marcus
    • Glow Discharge Optical Emission Spectrometry
      Richard Payling, Delwyn Jones, Arne Bengston
    • Optical Emission Lines of the Elements
      Richard Payling, Peter Larkins

 

Cấu hình đặc biệt

Các thiết bị được tự động hóa bằng các robot hoặc các thiết bị lắp trong được thiết kế và các nghiên cứu chuyên môn theo yêu cầu sẽ được tiến hành. 


 

Máy sinh khí Ni tơ

HORIBA Scientific có các máy sinh khí ni tơ sạch cho tất cả các hệ  GD-OES. Máy sinh khí Ni tơ cung cấp Ni tơ sạch 99.999% và vận tốc lưu lượng từ  3 L/phút tới 6.0 L/phút cho việc phân tích VUV. Ni tơ sạch cho phép duy trì nguyên vẹn chất lượng quang học đúng thời gian. 

Tags: Phân tích đặc tính màng mỏng, thin film characterization

ellip

CÔNG TY TNHH HORIBA VIỆT NAM

Địa chỉ: P.6, Tầng 10, CMC Tower, Phố Duy Tân, Phường Dịch Vọng Hậu, Quận Cầu Giấy, TP Hà Nội

Tel/Fax: 024 37958552/53

Email: support.vn@horiba.com