UVISEL 2
  • Hoàn toàn tự động và tích hợp
  • Các linh kiện quang học và điện tử mới giúp thực hiện phép đo nhanh và chính xác.
  • Mô phỏng pha với tần số PEM cao để thu thập dữ liệu nhanh chóng và không cần dịch chuyển linh kiện quang học.
  • 8 vi điểm tiêu sắc xuống đến 35 μm
  • Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế
  • Bệ mẫu XYZ lập bản đồ, tự động lấy nét và điều chỉnh độ nghiêng

 

Vui lòng click vào đây để có thêm thông tin về sản phẩm

 

Nhà sản xuất: HORIBA Scientific

  • Phổ kế Ellip quét mô phỏng pha: 190-880nm
  • Hệ quan sát cho hình ảnh mẫu theo thời gian thực và đo điểm chính xác .

  • Các vi điểm được điều khiển bằng máy tính
    • Lựa chọn 8 kích thước điểm khác nhau.
    • Tiêu sắc Achromatic xuống đến 35 µm
  • Máy đo góc điều khiển bằng máy tính
    • Dải góc thay đổi:  35° - 90°
    • Cho phép thay đổi góc phổ kế 
  • Bệ mẫu điều khiển bằng máy tính 200mm x 200mm, 3 trục XYZ
    • Lập bản đồ mẫu tự động 
    • Bộ giữ mẫu vuông 200mm và 2 mẫu tham chiếu 
    • Điều chính chiều cao  Z tự động : 40mm, tự động hội tụ
  • Căn chỉnh nghiêng mẫu
    • Căn chỉnh mẫu bằng hệ laser 
  • Nguồn sáng 150 W Xenon 
  • Hệ đơn sắc đôi, dải UV-Vis
    • 190nm – 880nm (ánh sáng lạc < 0.5% tại 190nm)
    • Đầu đo PMT đôi, cho độ nhạy và dải động học cao nhất

Khả năng mở rộng vùng NIR đến 2100 nm

  • Hệ đơn sắc cho vùng NIR
    • 880nm – 2100nm.
    • Đầu đo InGaAs 
  • Phần mềm Delta Psi2 
    • Thu thập, hiệu chuẩn và xử lý số liệu 
    • Tự động hiệu chuẩn

Tags: phân tích phân cực ellip, ellipsometer, màng mỏng, thin film

ellip

CÔNG TY TNHH HORIBA VIỆT NAM

Địa chỉ: P.6, Tầng 10, CMC Tower, Phố Duy Tân, Phường Dịch Vọng Hậu, Quận Cầu Giấy, TP Hà Nội

Tel/Fax: 024 37958552/53

Email: support.vn@horiba.com