S600 Series

Bộ điều khiển lưu lượng khí điện tử

+ Độ chính xác và độ ổn định cao ±1.0% S.P. (30%FS<SET) .

+ Tốc độ phản hồi nhanh <1.5s (cho toàn bộ các dải lưu lượng)

+ Độ bền cao (Thiết kế bởi HORIBA STEC- Nhật Bản)

+ Áp dụng tín hiệu tương tự và tín hiệu điện tử (lRS485 F-Eet/PROFIBUS/DeviceNet/EtherCAT)

+ Những bộ phận chính được nhập từ Nhật
Các bộ phận cảm biến
Van điều khiển
Bảng mạch điều khiển
Chương trình điều khiển
Thuật toán điều khiển

+ Van điện từ

Tấm pin năng lượng mặt trời (PV): trong quá trình khuếch tán khí/ bay hơi lắng đọng hóa học có sự hỗ trợ của plasma/ cấy ghép ion.

Khí đốt cho quá trình MCVD/ VAD/ OVD.

Buồng ủ sinh học/ Buồng dược phẩm: khí điều khiển cho phản ứng lên men, xử lý sinh học.

Thực phẩm và đồ uống: pha trộn, kiểm soát quả trình đóng chai, làm kho, trộn, làm mát, khí bảo quản thực phẩm.

Lò đốt: kiểm soát lửa, hòa trộn khí đốt.

Mạ chân không: khí quá trình cho mạ màng mỏng lắng đọng

Phân tích/ Phân tích khí: mẫu phân tích, khí mẫu để đo đạc, kiểm tra

Động cơ: kiểm tra khí thải, đo đạc không khí nén

Xử lý nhiệt: điều khiển quá trình đốt, hàn

Vui lòng liên lạc người phụ trách bộ phận bán dẫn của Horiba Vietnam để biết thêm chi tiết.

Nguyễn Thanh Sơn

Kỹ sư kinh doanh và ứng dụng – Phòng thiết bị bán dẫn

Mobile: +84-969-652-595 | Tel: +84 24 3795 8552 (Ext : 22)

Email: son1.nguyen@horiba.com