THIẾT BỊ GIÁM SÁT NỒNG ĐỘ HÓA HỌC

Thiết bị giám sát nồng độ hóa học đọc lập Dòng thiết bị CS-100 cung cấp giải pháp toàn diện cho các quá trình làm sạch, ăn mòn hóa trong sản xuất bán dẫn yêu cầu độ chính xác cao. Cùng với thiết kế nhỏ gọn là tốc độ phản hồi nhanh, đo đạc nồng đồ của các chất thành phần theo thời gian thực đồng thời cung cấp cản báo tự động với chuông báo. Khả năng thực hiện những chu kỳ đo ngắn cho phép theo dõi chính xác sự thay đổi của nồng độ hóa học.

CS-600 có chức năng cao hơn phù hợp cho sản xuất, ví dụ như khả năng thực hiện các phép đo trên dây chuyền sản xuất với nhiệt độ cao trong rất nhiều ứng dụng, vận hành ổn định và giảm thời gian dừng máy, kích thước nhỏ gọn cải thiện năng suất không gian nhằm đáp ứng yêu cầu quản lý chính xác quá trình ướt trong công nghệ bán dẫn tiên tiến.

Thiết bị giám sát nồng độ thấp cho HF/HCl/NH3 Thiết bị HF-960M sử dụng cảm biến có khả năng chống ăn mòn vượt trội cho độ chính xác cao, tốc đọ đo đạc nhanh của dung dịch HF, HCl, NH3 ở nồng độ thấp, thiết kế phù hợp hoàn hảo với quá trình làm sạch wafer

Thiết bị đo nồng độ oxy hòa tan (nồng độ thấp) Có độ ổn định cao trong việc đo đạc oxy hòa tan nồng độ thấp trong dung dịch HF. Tự động thay đổi dải đo giữa ug/L sang mg/L. Dải do: 0-20.00 mg/L.

Thiết bị giám sát nồng độ oxy hòa tan trong sản xuất bán dẫn Lý tưởng cho việc đo đạc nồng độ hòa tan của oxy trong chu trình ướt của giai đoàn đầu và cuối dây chuyền. Áp dụng đầu cảm biến có tính chất kháng hóa học, cung cấp dải đo nồng độ rộng giúp việc sử dụng thuận tiện hơn.

Thiết bị giám sát nồng độ axit Citric Độ chính xác cao, dải đo rộng với cảm biến điện trở. Dải đo: 0 - 2%.

Thiết bị giám sát nồng độ TMAH Đo đạc chính xác nồng độ của TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide), là thành phần chính của

Thiết bị giám sát nồng độ KOH với độ chính xác cao và dải đo rộng. Dải đo 0 - 20%

Thiết bị giám sát nồng độ HF/ HCl Đo đạc chính xác nồng độ HF và HCl sử dụng trong sản xuất bán dẫn và các quá trình khác. Cảm biến được thiết kế riêng FES-510 có tính kháng hóa học khiến thiết bị lý tưởng cho việc quản lý nồng độ HF hoặc HCl. Dải đo: 0 - 10%

Thiết bị giám sát nồng độ dung dịch HF từ nồng đọ thấp tới dung dịch không pha loãng. Thiết bị HF-960EM đạt được độ chính xác cao thông qua việc tự động điều chỉnh dải đo. Khả năng làm sạch với tất cả các cảm biến PFA. Dải đo 0 - 50 %

Thiết bị giám sát nồng độ của Ozone (O3) hòa tan. Độ chính xác cao, dải đo rộng. Độ lặp lại: +/- 0.2% dải đo. Có thể chọn 4 loại đo đạc trực tiếp trên quá trình sản xuất.

Thiết bị giám sát nồng độ H2O2 HZ-960HPO-M cung cấp độ ổn định cao. Độ lặp lại: +/- 0.2% toàn dải đo. Có thể lựa chọn 4 dải đo.