Semiconductor Banner

Đo áp suất tuyệt đối là rất quan trọng đối với hầu hết các quy trình chân không trong các ngành công nghiệp khác nhau bao gồm Bán dẫn, FPD, HDD, PV và Coating. Áp kế điện dung xác định tổng áp suất từ sự biến dạng của màng ngăn xảy ra khi có sự chênh lệch áp suất được đặt vào cả hai mặt của màng ngăn. Điểm mạnh của áp kế điện dung so với các phương pháp khác là:

  • • Độ chính xác cao hơn
  • • Ít phụ thuộc khí hơn vào đầu ra áp suất
  • • Tương đối chống khí ăn mòn

Đặc điểm:

  • Thiết kế nhỏ gọn, tự gia nhiệt
  • Hiệu suất cao và độ ổn định cao do cải tiến cấu trúc điện cực 
  • Vật liệu SUS316L
  • Có thể lựa chọn từ loại có kiểm soát nhiệt độ (55, 100 ° C) hoặc không gia nhiệt
  • Yêu cầu nguồn +/- 15VDC hoặc 24VDC
  • Tuân thủ CE & RoHS

VG-200
VG-200
Đo đạc áp suất chân không rất quan trọng hầu hết những quá trình chân không của nhiều ngành công nghiệp bao gồm bán dẫn, tầm nền, ổ cứng, thẻ nhớ, tấm pin mặt trời... Áp kế điện dung xác định áp xuất từ việc biến dạng màng kim loại xảy ra khi sự thay đổi áp suất tác động lên màng. Áp kế điện dung có những ưu điểm sau: + Độ chính xác cao + Áp suất đo đạc ít phụ thuộc vào khí + Khả năng chống khí ăn mòn
Xem chi tiết
Yêu cầu về sản phẩm/dịch vụ tại đây