Thiết bị giám sát nồng độ oxy hòa tan trong sản xuất bán dẫn Lý tưởng cho việc đo đạc nồng độ hòa tan của oxy trong chu trình ướt của giai đoàn đầu và cuối dây chuyền. Áp dụng đầu cảm biến có tính chất kháng hóa học, cung cấp dải đo nồng độ rộng giúp việc sử dụng thuận tiện hơn.
HD-960LR

Model mới nhất của thiết bị giám sát nồng độ oxy hòa tan HD-960LR

Nồng độ hòa tan của oxy có thể được đo đạc với nhứng điều kiện hóa học dưới:

  • Nồng độ NH3 là 1% hoặc nhỏ hơn, nhiệt độ mẫu 25 ℃ ±2 ℃
  • Dung môi hữu cơ có nhiệt độ sôi cao hơn nước

Có khả năng đo nồng độ oxy hòa tan của nhiều loại dung dịch hóa học sử dụng trong quá trình bán dẫn.

 

■ Bảng so sánh với model cũ

  Latest model Previous models
  High flow rate and long life High flow rate
(Sample to circulate)		 Low flow rate
(Sample to drain)
Model HD-960LR HD-960L-M HD-960L
Sensor unit dimensions W170 (200 ) x H95 x D135 W120 (150 ) x H95 x D108 W87 (117 ) x H131 x D94
Flow rate 600 - 2000 mL/min (Sensor membrane: 25 μm)
400 - 2000 mL/min (Sensor membrane: 50 μm)		 200 - 2000 mL/min
(Sensor membrane: 25 μm/50 μm)		 15 - 200 mL/min
（Sensor membrane: 25 μm/50 μm)
Temperature 20- 60 ℃ 20- 60 ℃ 10- 45 ℃
Pressure 0 - 0.2 MPa 0 - 0.2 MPa 0 - 0.01 MPa
Response speed 30 sec (90%) @400 mL/min 30 sec （90%） @400 mL/min 30 sec (90%) @200 mL/min
Sample Ammonia concentration is 1% or lower,sample temperature is 25 ℃ ±2 ℃
Organic solvent with boiling point higher than water.		 Pure water
Low concentration HF
(5700 ppm or less)		 Pure water
Low concentration HF
(5700 ppm or less)
Equipment configuration Converter: HD-960LR
Sensor unit: DO-120
Bottle unit: DO-120-B
Sensor: 5622
Connection cable: CK-05PS (5 m)
Relay cable: CK-01DO (1 m)		 Converter: HD-960L-M
Sensor unit: DO-110
Sensor: 5611
Connection cable: CK-05PS （5 m）		 Converter: HD-960L
Sensor unit: DO-100
Sensor: 5600
Connection cable: CK-05PS （5 m）
scrollable

 

Vui lòng liên lạc người phụ trách bộ phận bán dẫn của Horiba Vietnam để biết thêm chi tiết.

Nguyễn Thanh Sơn

Kỹ sư kinh doanh và ứng dụng – Phòng thiết bị bán dẫn

Mobile: +84-969-652-595 | Tel: +84 24 3795 8552 (Ext : 22)

Email: son1.nguyen@horiba.com

Yêu cầu về sản phẩm/dịch vụ tại đây