Đo đạc áp suất chân không rất quan trọng hầu hết những quá trình chân không của nhiều ngành công nghiệp bao gồm bán dẫn, tầm nền, ổ cứng, thẻ nhớ, tấm pin mặt trời... Áp kế điện dung xác định áp xuất từ việc biến dạng màng kim loại xảy ra khi sự thay đổi áp suất tác động lên màng. Áp kế điện dung có những ưu điểm sau: + Độ chính xác cao + Áp suất đo đạc ít phụ thuộc vào khí + Khả năng chống khí ăn mòn
VG-200

Thiết kế nhỏ gọn, tự làm nóng

Tín hiệu được xử lý có độ chính xác cao

Sử dụng màng kim loại SUS316L

Có thể chọn model theo nhiệt độ (55, 100oC) hoặc model không làm nóng

Điều chỉnh điểm không với chỉ một nút bấm

Điện áp +/-15V hoặc 24V

Đáp ứng tiêu chuẩn CE & RoHS

Model VG-211S VG-221S
F.S. measurement range 133.32 Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A) 133.32Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)
Sensor temperature *1 Amb. (25°C) 55°C / 100°C
Accuracy *2 0.5% R.S. 0.25% R.S. 0.5% R.S. 0.25% R.S.
Resolution 0.03% F.S. 0.01% F.S. 0.03% F.S. 0.01% F.S.
Zero temperature coefficient 0.01% F.S./°C 0.005% F.S./°C 0.005% F.S. /°C 0.0025% F.S. /°C
Span temperature coefficient 0.05% R.S./°C 0.03% R.S./°C 0.03% R.S. /°C 0.02% R.S. /°C
Response time < 60msec
Operating temperatue *3 10-50°C
Wetted materials SUS316L
Pressurization limit 300kPA (A) 350kPa (A) 300kPa (A) 350kPa (A)
Output signal 0-10VDC Load resistance: 10kΩ or more
I/O connector D-Sub 15pin
Power supply voltage +15VDC±5%、0.1A max. -15VDC±5%、0.1A max +15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
24VDC±5%, 2.4W max. 24VDC±5%, 22W max.
warm-up time 15 minutes 60 minutes (55°C temp. control type) 120 minutes (100°C temp. control type)
Open collector output Rated voltage: 30V Rated current: 50mA
Re-Zero input *4 Now-voltage contact input Contact open voltage: 13V Maximum contact current: 1.3mA
Standard fitting *5 KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female
scrollable

*1 The sensor temperatureis indicated on the nameplate. Please specify the sensor temperature when ordering.
*2 Linearity, hysteresis, and repeatability are included. (at the ambient temperature of 25°C)
*3 Under the specified environmental conditions, when there are heat sources around the product or when some products are placed in close formation, the ambient temperature may exceed the specified ambient temperature.
*4 The adjustable range of the zero point is ± 5%.
*5 Please specify the fitting when ordering.

 

Vui lòng liên lạc người phụ trách bộ phận bán dẫn của Horiba Vietnam để biết thêm chi tiết.

Nguyễn Thanh Sơn

Kỹ sư kinh doanh và ứng dụng – Phòng thiết bị bán dẫn

Mobile: +84-969-652-595 | Tel: +84 24 3795 8552 (Ext : 22)

Email: son1.nguyen@horiba.com

Yêu cầu về sản phẩm/dịch vụ tại đây