THIẾT BỊ NGÀNH BÁN DẪN
BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ
Bộ điều khiển lưu lượng với bộ nguồn ± 15V và 24VDC, có thể được sử dụng trong nhiều ứng dụng như thiết bị sản xuất và các hệ thống thí nghiệm / đánh giá và áp dụng trong nhiều nghành công nghiệp yêu cầu quá trình kiểm soát khí khác nhau.
THIẾT BỊ GIÁM SÁT NỒNG ĐỘ HÓA HỌC
Giám sát nồng độ của dung dịch hóa học đóng một vai trò quyết định của việc kiểm soát quá trình "Theo dõi --> Phản hồi --> Điều khiển" theo tiến trình của việc sản xuất bán dẫn. HORIBA có nhiều dòng sản phẩm thiết bị giám sát nồng đọ hóa chất chuyên dùng để quản lý nồng đọ từ FEOL tới BEOL nhàm đáp ứng nhu cầu của khách hàng