Thiết bị phân tích phân cực ellip (Spectroscopy ellipsometer) Smart SE linh hoạt cho kết quả phân tích màng mỏng nhanh và chính xác.
SMART SE
  • Vận hành đơn giản bằng phím bấm
  • Mô phỏng dựa trên tinh thể lỏng; không cần dịch chuyển các linh kiện quang học
  • Thu nhận dữ liệu phổ nhanh do đầu đo CCD - Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế.
  • Có thể thay đổi góc tới
  • Cấu hình trong
  • Dải phổ cố định: 450nm~1000nm

 

Vui lòng click vào đây để có thêm thông tin về sản phẩm

 

Nhà sản xuất: HORIBA Scientific

Cấu hình chuẩn

Dải phổ:

450nm đến 1000nm

Độ phân giải phổ

> 3nm

Nguồn sáng

Kết hợp Halogen và Blue LED

Thời gian đo

<1 giây đến 10 giây

Kích cỡ chùm tia

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

Góc tới

45o đến 90o , bước nhảy 5o

Kích thước mẫu

đến  200mm

Căn chỉnh mẫu

Điều chỉnh chiều cao và nghiêng tối đa 17mm 

Kích thước

100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)

Hoạt động

Độ chính xác truyền thẳng trong không khí  

Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

Độ chính xác chiều dày trên 1000 Å Oxide

0.04%

Độ lặp lại chiều dày trên 1000 Å Oxide

±0.02%

 

Tags: phân tích phân cực ellip, ellipsometer, màng mỏng, thin film

Yêu cầu về sản phẩm/dịch vụ tại đây