PHỔ PHÂN CỰC ELLIP
Phân tích phân cực Ellip là phương pháp quang học không phá hủy và không tiếp xúc dựa trên sự thay đổi về trạng thái phân cực ánh sáng khi phản chiếu gián tiếp vào mẫu màng mỏng. Phân tích phân cực ellip sử dụng phương pháp tiếp cận dựa trên mô hình để xác định độ dày màng, tính chất quang học...
Thông tin thu được từ phân tích phân cực ellip:
- Độ dày màng từ vài Angstroms tới 10 micromet
- Hằng số quang học (n,k)
- Tính chất vật liệu: thành phần hợp kim hợp chất, độ xốp, tinh thể, bất đẳng hướng, vùng cấm quang học
UVISEL 2
Thiết bị phân tích phân cực ellip (ellipsometer) bằng công nghệ quét mang lại hiệu suất cao nhất với thiết kế mới, tích hợp và hoàn toàn tự động. Đây là giải pháp ưu việt đối với mọi thách thức trong việc phân tích màng mỏng (thin film measurement).
UVISEL Plus
Sản phẩm: UVISEL Plus: 190-920 nm | Tùy chọn NIR: 2100 nm
Đo chiều dày màng mỏng và các hằng số quang học. Thiết bị phân tích phổ phân cực ellip dành cho nghiên cứu và phát triển quá trình.
UVISEL
Đây là thiết bị phân tích đặc tính màng mỏng lý tưởng cho ngành nghiên cứu và công nghiệp với ưu điểm không phá hủy, độ chính xác cao và đa công dụng.
SMART SE
Thiết bị phân tích phân cực ellip (Spectroscopy ellipsometer) Smart SE linh hoạt cho kết quả phân tích màng mỏng nhanh và chính xác.
UVISEL 2 VUV
Thiết bị phân tích phân cực ellip bằng phổ VUV cho độ chính xác cao, thời gian đo nhanh, khả năng đạt chân không nhanh, thời gian thay đổi mẫu ngắn và tiêu thụ ít nitơ.
AUTO SE
Thiết bị phân tích chiều dày màng (Thin Film Measurement)tự động, dễ sử dụng, nhanh chóng cho kết quả và báo cáo trong vài giây.
CÁC THIẾT BỊ ĐO TẠI CHỖ, ĐO NỐI TIẾP VÀ ĐO DIỆN TÍCH RỘNG
Các thiết bị phân tích phân cực ellip tại chỗ, nối tiếp và đo trên diện rộng của HORIBA được thiết kế để kiểm soát quy trình trong nghiên cứu và công nghiệp. Từ việc kiểm soát tại chỗ các màng mỏng đến lập bản đồ nhất quán trên diện rộng và phân tích tiên tiếp của các thiết bị linh hoạt, chúng tôi cung cấp nhiều giải pháp để quản lý chất lượng màng mỏng.
PHỤ KIỆN
Danh mục đa dạng các tùy chọn và phụ kiện cho các thiết bị phân tích phân cực Ellip của HORIBA Scientific để nâng cao, mở rộng phạm vi hoạt động và tính linh hoạt. Thiết kế mô-đun của thiết bị phân tích phân cực giúp dễ dàng nâng cấp cho phù hợp với yêu cầu thay đổi ứng dụng tốt nhất.
Yêu cầu về sản phẩm/dịch vụ tại đây