Thiết bị được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu chất bán dẫn và vi điện tử, cho phép người sử dụng phân tích độ dày màng, hằng số quang, bandgap, tinh thể, giao diện và nhiều cấu trúc đa lớp hơn trên dải phổ từ DUV đến NIR.

Application Notes

  • SE-02:Optical Characterization of Organic Semiconductors by Spectroscopic Ellipsometry
  • SE-21:High k Dielectric with Nanoscale Thickness Studied by VUV spectroscopic Ellipsometry & FTIR-ATR
  • SE-13:Characterization of III-V Semiconductors using Phase Modulated Spectroscopic Ellipsometry
  • SE-01:Spectroscopic Ellipsometry of Compound Semiconductors: AlxGa1-xN / GaN Hetero-Structures
  • SE-16:Ferroelectric Thin Films Characterization by Spectroscopic Ellipsometry PbZr1-xTixO3 & BA1-xSrxTiO3